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固态装配谐振器SMR
固态装配谐振器SMR
固态装配谐振器（二维）
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。 本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应。非平衡等离子体 “等离子体模块”提供内置的用户接口来模拟由稳态或时变电场维持 等离子体模块2022年5月29日 对于固态装配型谐振器（SMR），声学损耗主要为透过衬底的能量泄漏。 为提高SMR的品质因数，改进了布拉格堆叠结构，使纵波和剪切波同时被约束在压电堆叠结构中，以减少声能对衬底的泄漏。基于优化布拉格结构的固态装配型谐振器 2020年6月16日 固态装配型谐振器(solidlymountedresonator，简称smr)是一种包括布拉格反射器结构和压电结构的装置。 在传统的固态装配型谐振器的应用中，在布拉格反射器结构上形成压电结构，布拉格反射器由高低 固态装配型谐振器及其制备方法与流程 X技术网
基于SMR的NEMS磁电天线，比FBAR天线更小、综
2023年7月27日 薄膜体声波谐振器（FBAR）和固态装配谐振器（SMR）是体声波（BAW）器件将声能限制在压电材料中的两种主要几何结构。 要构建高品质因数的强机械共振，需要在相邻介质中具有最小能量耗散的隔离 2023年3月5日 构造多层布喇格反射结构,即固态装配型谐振器 (SMR),可以较好地解决这些问题。本文用R 表示基于XBAR谐振器的SMR结构(具有叉指电 极IDT,用以区别传统SMR)。SMR结构交替沉积低声阻抗材料和高声阻抗 材料,利用布喇格反射将能量限制在 SiO2/W反射叠层的分布电容对体波谐振器的影响2016年2月25日 固态装配型谐振器(SMR)有更好的热传导能力与热应力稳定性。在SMR器件中增加一层SiO2，其最高稳态温度上升7 ℃。器件最高稳态温度随其谐振区面积的减小而迅速增大。当器件换用高热导率材料时，器件最高稳态温度及其随热耗散功率增加而增大的 薄膜体声波谐振器的热学分析2016年2月25日 采用有限元分析软件Comsol Multiphics构建谐振器三维模型，研究器件结构、材料对其热性能的影响。固态装配型谐振器(SMR)有更好的热传导能力与热应力稳定性。在SMR器件中增加一层SiO2，其最高稳态温度上升7 ℃。器件最高稳态温度随其谐振区 薄膜体声波谐振器的热学分析
基于SMR的NEMS磁电天线，比FBAR天线更小、综
2023年7月27日 薄膜体声波谐振器（FBAR）和固态装配谐振器（SMR）是体声波（BAW）器件将声能限制在压电材料中的两种主要几何结构。 要构建高品质因数的强机械共振，需要在相邻介质中具有最小能量耗散的隔离 2022年5月29日 体声波谐振器的有效耦合系数和品质因数决定了体声波滤波器的整体性能。有效耦合系数依赖于叠层结构和压电材料。而品质因数高度依赖于损耗机制，主要为电学损耗和声学损耗。对于固态装配型谐振 基于优化布拉格结构的固态装配型谐振器2009年5月22日 在固态装配型谐振器（SMR）方面，论文采用上述模型分析了四分之一波长布拉格反射栅对其谐振特性的影响，得到了SMR器件获得理想性能所需的最少反射栅对数；另外，考虑到实际制备反射栅时薄膜厚度不容易控制的问题，论文还分析了薄膜厚度与设计 MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）研究固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应 MEMS 模块案例下载示例
固态装配谐振器（二维） 必威bwey COMSOL
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应。计算出的阻抗曲线和位移曲线与文献中的仿真结果吻合较好。2023年12月24日 该研究构建的微流控检测系统如图1所示。千兆赫兹（GHz）固态装配型谐振器（SMR ）与电化学芯片分置在微流控通道两侧。H ₂ O ₂ 和其他溶液通过入口管注入微通道，确保电化学芯片和固态装配型谐振器都充分暴露在液体环境中。当受到千兆赫 集成声学谐振器和电化学芯片的微流控平台，实现细胞内过 2022年7月9日 背景技术： 2固态装配型谐振器(solidly mounted resonator，smr)是一种包括布拉格反射层和压电结构的装置。 在传统的固态装配型谐振器的应用中，布拉格反射层由高声阻抗层和低声阻抗层交替形成，实现声波的反射，每层高低声阻抗层的厚度是声波在该材料中传播时的波长的1/4。固态装配型谐振器的制造方法与流程 X技术网2022年5月29日 体声波谐振器的有效耦合系数和品质因数决定了体声波滤波器的整体性能。有效耦合系数依赖于叠层结构和压电材料。而品质因数高度依赖于损耗机制，主要为电学损耗和声学损耗。对于固态装配型谐振器（SMR），声学损耗主要为透过衬底的能量泄漏。基于优化布拉格结构的固态装配型谐振器
基于机械驱动固装谐振器的纳米机电系统磁电天线
2024年5月29日 薄膜体声波谐振器（ FBAR ）和固态装配谐振器（ SMR ）是体声波（ BAW ）器件将声能限制在压电材料中的两种主要几何结构。要构建高品质因数的强机械共振，需要在相邻介质中具有最小能量耗散的 薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用详细解析 RF/无线 电子发烧友网 2018年5月8日 薄膜体声波谐振器（FBAR）是一种全新的射频滤波器。 还有一种方式是采用"声波镜"形成反射面来实现,这种结构被称为"固态装配谐振器（SMR）"。固态装配谐振器smr2021年6月23日 前者已成为薄膜体声波谐振器（FBAR）和固态装配谐振器（SMR）的 主要配置。后者则吸引了越来越多的研究人员通过光刻工艺改善AlN技术频率特性。为了进一步提高AlN的机电耦合系数，主要有两种方 微波声学器件最新进展及技术展望 电子工程专辑 EE 2020年6月5日 本申请涉及通信器件领域，主要涉及一种固态装配谐振器的结构及制作工艺。背景技术： 随着电磁频谱的日益拥挤、无线通讯设备的频段与功能增多，无线通讯使用的电磁频谱从500mhz到5ghz以上高速增长，也对性能高、成本低、功耗低、体积小的射频前端模块需求日益增长。一种固态装配谐振器的结构及制作工艺的制作方法 X技术网
MEMS 滤波器 – BAW、SAW 和 λ 波 DigiKey
2022年8月9日 BAW 谐振器由置于两个金属电极之间的压电薄膜构成。这些电极引起的声波沿压电薄膜的“主体”垂直传播，并在电极之间形成驻波。 为了防止波逃逸到基底，人们构建了几种 BAW 滤波器配置：膜式谐振器 (MTR)、薄膜腔声波谐振器 (FBAR) 和固态装配型谐振器2024年4月28日 宙讯微电子在声波滤波器领域积累了十余年的研发生产经验，前期开发的SAW、FBAR、TCFBAR等系列滤波器产品在业内广受好评，并实现规模交付。面对当前体声波滤波器领域的 新求，公司于近日量产新一代固体装配型SMR BAW滤波器，该SMR BAW滤波器采用独特的布拉格声反射层设计，在满足滤波器性能要求 宙讯微电子在国内率先量产SMR型BAW滤波器2022年2月13日 波（BAW）（薄膜体声波谐振器／固态装配型谐振器 （FBAR／SMR ））技术平台。因此，LWR兼具SAW 谐振器和BAW谐振器二者的特征。本文简要介绍了兰姆波的基本原理，重点报道 了基于不同材料平台的5G通信和IoT用兰姆波器 压电 犕犈犕犛兰姆波器件技术的最新进展与展望无线移动通讯市场的快速发展引起了对05GHz10GHz频段内射频振荡器,滤波器和双工器的极大需求由于MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)在这些领域的潜在应用前景,使其成为目前研究的一个热点论文首先介绍了FBAR器件的研究背景,然后对其进行了系统性的MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究 百度学术
协同共振型薄膜体声波谐振器研究 SJTU
关键词: 固体装配型薄膜体声波谐振器(SMR), 氧化锌薄膜, AlNZnO协同共振层, 掺杂技术 Abstract: With the rapid development of the telecommunications industry and microelectronics technologies, and with the increasingly clear development trend of fifthgeneration (5G) communications, higher requirements have been placed on the 2013年12月12日 薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点，成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选。本文系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(A1N、ZnO、PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用。薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用 微波部件/模块 微波 固态装配型谐振器及其制备方法[发明专利]专来自百度文库内容由知识产权出版社提供专利名称：固态装配型谐振器及其制备方法 专利类型：发明专利 发明人：王伟,杨金铭,李平,蒋将,彭波华,胡念楚,贾斌 申请号：CN17 申请日： 固态装配型谐振器及其制备方法[发明专利]百度文库2024年4月26日 根据声能反射方式和结构的不同，BAW滤波器可分为薄膜体声波谐振器（FBAR）及固体装配型（SMR，又称为固贴型）体声波谐振器。 SMR型BAW滤波器因为其本身为固态 结构，简化了诸多晶圆制造 宙讯微电子在国内率先量产SMR型BAW滤波器电子
BAW谐振器基本原理、制作、建模和设计 面包板社区
2022年9月9日 这种类型的BAW被称为固态装配谐振器（SMR）。 就鲁棒性而言，SMR比膜结构的BAW要好很多。在划片和装配所需的各种标准工序中，没有机械损坏的风险。压电层和电极层上受到的层压力也不会造成问题。 对需要有很大功率承受能力的BAW而言，存在 2013年12月16日 这种类型的BAW被称为固态装配谐振器（SMR）。就鲁棒性而言，SMR比膜结构的BAW要好很多。在划片和装配所需的各种标准工序中，没有机械损坏的风险。压电层和电极层上受到的层压力也不会造成问题。基于CMOS工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器BAW2022年11月2日 有效机电耦合系数Keff2用来表示体声波谐振器串联谐振频率fs和并联谐振频率fp的相对频率，同时也表示薄膜体声波谐振滤波器的带宽，Keff2越大，则谐振器构成的滤波器的带宽也越大，Keff2主要由压电薄膜的材料参数决定。FBAR滤波器的工作原理及制备方法 知乎布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器[发明专利] 26 人查看 热门文献 cprs 掌桥科研 通过文献互助平台发起求助，成功后即可免费获取论文全文。 请先登入 我们已与文献出版商建立了直接购买合作 布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器
布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器与流程
2020年12月29日 本申请涉及通信器件领域，主要涉及布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器。背景技术： 随着电磁频谱的日益拥挤、无线通讯设备的频段与功能增多，无线通讯使用的电磁频谱从500mhz到5ghz以上高速增长，因此对性能高、成本低、功耗低、体积小的射频前端模块需求也日益增长。体声波谐振器的有效耦合系数和品质因数决定了体声波滤波器的整体性能。有效耦合系数依赖于叠层结构和压电材料。而品质因数高度依赖于损耗机制，主要为电学损耗和声学损耗。对于固态装配型谐振器（SMR），声学损耗主要为透过衬底的能量泄漏。北京航空航天大学学报 2023年12月26日 FBAR滤波器ꎬ二是基于固态装配型谐振器(Solidly MountedResonatorꎬSMR)的SMR￣BAW滤波器ꎮ与 SMR￣BAW滤波器相比ꎬFBAR滤波器具有更高的品 质因数Q和有效压电耦合系数k2 eff [7]ꎮ而与SAW薄膜体声波谐振器 Southeast University2016年2月25日 固态装配型谐振器(SMR)有更好的热传导能力与热应力稳定性。在SMR器件中增加一层SiO2，其最高稳态温度上升7 ℃。器件最高稳态温度随其谐振区面积的减小而迅速增大。当器件换用高热导率材料时，器件最高稳态温度及其随热耗散功率增加而增大的幅度明显薄膜体声波谐振器的热学分析
基于SMR的NEMS磁电天线，比FBAR天线更小、综
2023年7月27日 薄膜体声波谐振器（FBAR）和固态装配谐振器（SMR）是体声波（BAW）器件将声能限制在压电材料中的两种主要几何结构。 要构建高品质因数的强机械共振，需要在相邻介质中具有最小能量耗散的隔离 2022年5月29日 体声波谐振器的有效耦合系数和品质因数决定了体声波滤波器的整体性能。有效耦合系数依赖于叠层结构和压电材料。而品质因数高度依赖于损耗机制，主要为电学损耗和声学损耗。对于固态装配型谐振 基于优化布拉格结构的固态装配型谐振器2009年5月22日 在固态装配型谐振器（SMR）方面，论文采用上述模型分析了四分之一波长布拉格反射栅对其谐振特性的影响，得到了SMR器件获得理想性能所需的最少反射栅对数；另外，考虑到实际制备反射栅时薄膜厚度不容易控制的问题，论文还分析了薄膜厚度与设计 MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）研究固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应 MEMS 模块案例下载示例
固态装配谐振器（二维） 必威bwey COMSOL
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应。计算出的阻抗曲线和位移曲线与文献中的仿真结果吻合较好。2023年12月24日 该研究构建的微流控检测系统如图1所示。千兆赫兹（GHz）固态装配型谐振器（SMR ）与电化学芯片分置在微流控通道两侧。H ₂ O ₂ 和其他溶液通过入口管注入微通道，确保电化学芯片和固态装配型谐振器都充分暴露在液体环境中。当受到千兆赫 集成声学谐振器和电化学芯片的微流控平台，实现细胞内过 2022年7月9日 背景技术： 2固态装配型谐振器(solidly mounted resonator，smr)是一种包括布拉格反射层和压电结构的装置。 在传统的固态装配型谐振器的应用中，布拉格反射层由高声阻抗层和低声阻抗层交替形成，实现声波的反射，每层高低声阻抗层的厚度是声波在该材料中传播时的波长的1/4。固态装配型谐振器的制造方法与流程 X技术网2022年5月29日 体声波谐振器的有效耦合系数和品质因数决定了体声波滤波器的整体性能。有效耦合系数依赖于叠层结构和压电材料。而品质因数高度依赖于损耗机制，主要为电学损耗和声学损耗。对于固态装配型谐振器（SMR），声学损耗主要为透过衬底的能量泄漏。基于优化布拉格结构的固态装配型谐振器